成果简介：

动态干涉测量仪器，具备快速曝光瞬态相移的特点可满足大型光学元件长光腔下的在线测量。设备由高稳定干涉测量光学系统与高精度相位测量软件组成。配备稳频激光器；采用精确装配及标定技术在最大程度上保证了测量结果的精确性；特有的相移算法可实现动态相位的快速、高精度解调；测量软件具备丰富的误差分析、数据处理报告生成等功能，满足一般光学测量需求。 

4 寸动态干涉仪通过对基于空域和时域测量数据的融合，实现高精度表面误差的提取。采用整体误差分配及优化策略，保证测量精度。设计的抗振算法可保证干涉仪在较恶劣的环境下实现测量。 

设备特点： 

• 采用自研抗震算法 
• 实现全像素分辨率高精度动态干涉测量 
• 分辨率可实现 1K×1K（可定制 2K×2K） 
• 动态测量精度优于 3nm 
• 抗振移相干涉测量精度可达亚纳米级别 
• 通光口径可定制 
• 无需隔振平台

菲索干涉仪实物图 (1) 4 英寸 (2) 2 英寸：

系统操作界面：